某光电器件生产公司因晶圆清洁道工序生成含氨焦化废水，容量200吨/天。焦化废水里面的除氟化物外还具有刺激性氟化物和轻微血本属，进行处理的难度大。本省的排放标准决定规范标准氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理方法化学物质及渠道 晶圆难以清理废水处理方法（大部分来源于）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀生产工艺废液：含微量分析铜、镍等高价属，pH值动荡大 CMP抛光废水处理：含硅颗粒肥料及氟化物 治理艺步骤流程 适用"生物学凝固+膜分离处理+折点氯化"组合名字工序： 预解决 ：加药CaCl2除氟，调控pH在7.5-8. 反渗透装置设计 ：消除0.01μm之上粉末物 反构建萃取 ：将化学需氧量浓缩提炼至1000mg/L这些 折点氯化 ：精确性操纵氯加药系统量，将氯离子转化率为离氮气 铁离子互相交换 ：有保障血本属不合格 进而使用效果 氟化物保持稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含铁少于检查测量限 水使用率达75% 厌氧颗粒污泥产生量抑制40%