某半导体技术净化处理器研制厂在晶圆生产制作具体步骤中,运用硅烷使用硅概念有,尾气排放洗滌塔有高氨水浓度含硅废水净化处理工艺净化处理工艺。废水净化处理工艺净化处理工艺具备pH下跌大(2-11)、硅成分高的共同点,普通净化处理方式方法易出来硅垢堵住了大问题。
废液的成分及來源
工业废水主要是含量为:
析出性硅酸盐
:SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L
氢氧化反应钾/氢氧化反应钠
:洗洁剂塔酸性洗洁剂液使用量
颗粒剂硅
:纳米技术级SiO₂悬浊液
痕量砷
:辅料杂质残渣带进
净化处理工序具体流程
转型升级应用"两极结合+膜油烟净化器+挥发晶粒"加工过程:
特一级采和
:用CaO的调节pH至4-5,产生硅酸钙沉淀出的,硅消除率60%。
一级与
:加Na₂CO₃将pH加快至9,进十步沉定累计硅,串联用镁剂除砷。
反渗透装置系統
:0.02μm陶瓷图片膜净化纳米技术级硅小粒,通量可靠在80LMH。
MVR冷疑器器
:浓缩咖啡高盐废气,凝结出Na₂SO₄副食品,水造纸废水处理率超90%。
然后成效
总硅从1500mg/L减至5mg/L接下来
砷含铁从0.8mg/L减少为0.01mg/L
软件系统无结渣操作已超2年
去年回笼氢氧化钠钠多晶体约800吨