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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆产出线一起的超净水程序,定期制造含硅化工废水150吨。化工废泥里虽无血本属,但硅硫含量高易水垢,且电阻值率需高于18MΩ·cm也能回收利用。原来的除理工学艺就没有办法符合新颁发的《网上工業水影响物排出规范》(GB39731-2020)独特排出规定值。 工业废水组成成分作用 核心污染问题物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒级0.1-1μm) 特出规定要求 :TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L 饮用水质性能特点 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅化学物质底部形态复杂化 办理加工步骤 科学创新按照"梯级膜提取+电去铁离子"整合加工过程: 微滤预治理 :1μm淘瓷膜阻拦大颗料硅,通量长期保持80LMH 阴离子对换树脂材料 :D201大孔环氧树脂可选择性溶解硅酸团伙 两级RO装置 :第一次段环保再生资源回产出率60%,2、段主要包括高脱硼膜零件 EDI电去阴阳离子 :工作电流密度计算2A/m²,定期洗去的残留物阴阳离子 紫外光消毒杀菌 :254nm红外光谱线用量40mJ/cm² 高技术工作亮点 设计专业化阻硅剂(充分胺类结合物),抑制膜被污染的周期怎么算3倍 EDI控制模块研发流道设计方案,硅清除率不断提升至99.8% 免费在线硅分析一下仪(自动测量超范围0.1-500μg/L)满足深度贫困保持 加载功效 经其次方检则: 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L减至0.3μg/L 系统的的回收利用率从原40%完善至68% 膜撤换定期提升至5年,年作业生产成本有效降低35%

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