该晶圆创造厂是在西北地方,具体产出8寸大半导体器件晶圆,日访问量废污水排卸量约800吨。基于产出步骤中用大量的盐酸去晶圆蚀刻,导至废污水面氟化物氧浓度高达独角兽200-300mg/L,远超国排卸规格(10mg/L下)。
焦化废水化学成分及来自
废气常见基三部分:
晶圆蚀刻生产工艺
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸铵及一些高价属
电学机械性打磨抛光(CMP)污水
:含納米级硅颗粒剂、有机的络合剂
机械设备清晰生产废水
:含异丙醇、氟化物等无机物
办理生产技术流程图
按照"生物结晶+混泥土结晶+深层次过滤器"两级治疗系统化:
一个解决
:污泥脱水氯化钙和氢氧化物钙,建成氟化钙沉淀物中,氟化物我们要除率达85%
两级操作
:添加图片PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),清除溶液态危害物
三类补救
:顺利通过多媒质滤出器和活力性炭物理吸附,水流氟化物酸度安全在8mg/L低于
关键因素机器设备属于:pH半自动改善整体、斜管放置池、板框过滤机(工业废水脱干)。
终于功能
新项目运转十年评估数据信息体现:
氟化物评均浓度值:7.2mg/L(高于国标准化)
COD我们要除率:92%
厌氧颗粒污泥含水分率:≤65%
年收回氟化钙副物料约150吨,完成资源的化巧用