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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

业务图片背景 某中型半导体行业研发品牌处于长半圆沿海地区,主要的产出晶圆和电子器件。在产出期间中,晶圆打孔和镜面抛光时间段生产丰富机磨液焦化废水,平均废气量约50吨。由焦化废自来水中含减阻剂值悬浮按钮物、塑料亚铁离子及有机化学生成剂,可以废气会对氛围产生加重弄脏,品牌现需建没非常专业净化处理装置。 废气含量及因素 磨研液废液核心来自于晶圆代加工中的电学物理磨光(CMP)繁琐流程,核心污染问题物还包括: 浮悬粒子物 :二空气腐蚀硅、空气腐蚀铝等研磨抛光顆粒,粒度在0.1-1μm,含量高达独角兽2000mg/L。 重金属正离子 :铜、铁、锌等,源于打蜡 垫磨损情况及晶圆外层金属件层,铜阳离子密度约50mg/L。 充分更改剂 :涉及表面层活力性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 碱酸性有机物 :pH值动荡大,大多数在2-11两者之间。 治理工艺技术方案 面向污废水 性,选择“预治疗+什么是生化+深层次治疗”组装工序: 调整池 :均衡化水源储水量,加碱酸调pH至碱性。 沥青混凝土沉淀物 :添加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),我们要除悬浮物物和溶液,沉降后SS我们要除率>90%。 催化剂的作用氧化物 :用Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)溶解巧妙修改剂,COD去掉率达60%。 生态学办理 :MBR膜怪物作用器进一歩分解乘余设计物,COD调至100mg/L接下来。 阴阳离子对调 :使用树脂材料过滤铜亚铁离子,留水铜份量<0.5mg/L。 砂滤+可溶性炭进行过滤 :以保证出水量清冽,实现《把污水准则化减排准则》(GB8978-1996)6级准则。 终于效率 系统性执行平稳后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。 中水回用率达40%,剩的合格尾气进行排放标准,年少废水处理尾气进行排放标准1.7万吨。 治疗成本低约15元/吨,远不超过餐饮行业平衡。

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